文件大小：361MB （电子书pdf） 衍射极限附近的光刻工艺
衍射极限附近的光刻工艺
入选2019年国家出版基金资助项目、“十三五”国家重点图书出版规划项目，一部极具深度和广度的光刻工艺技术著作，体系结构完整，内容系统全面，数据资料翔实，可读性强
作者:伍强 等出版社:清华大学出版社出版时间:2020年02月
开 本：16开纸 张：胶版纸包 装：平装-胶订是否套装：否国际标准书号ISBN：9787302537427丛书名：高端集成电路制造工艺丛书
所属分类：
图书>工业技术>一般工业技术
《衍射极限附近的光刻工艺》作者:伍强 等出版社:清华大学出版社（电子版pdf格式）
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集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。光刻工艺是集成电路制造业核心工艺技术之一，在集成电路的诸多领域，扮演着不可或缺的重要作用。
《衍射极限附近的光刻工艺》以光刻工艺为主线，将光刻设备、光刻材料、光刻成像的理论计算、光刻工艺中各种建模思想和推导，芯片制造的技术发展要求，以及对光刻工艺各项参数的要求紧密地联系在一起，为读者展现一个整体的图景。
本书是一部极具深度和广度的光刻工艺技术著作，覆盖多学科领域，体系结构完整，内容系统全面，数据资料翔实，论述严谨，可读性强。本书的出版将帮助读者全面、深入地了解光刻技术，推动光刻技术各领域的交流和协同，促进人才培养、技术进步和产业发展。
伍强博士等作者是随着半导体产业的发展成长起来的资深光刻技术专家，不仅有深厚的学术根基，还有丰富的产业经验，他们带领的团队多年来在国内外多家*公司一线工作，掌握了业界领先的制造工艺。他们处理实际问题的经验以及从产业出发的独特技术视角，将给读者带来启发和帮助。本书理论与实际相结合，紧跟国际技术前沿，填补国内外相关图书空白。
内容简介
为了应对我国在集成电路领域,尤其是光刻技术方面严重落后于发达国家的局面,破解光刻制造设备、材料和光学邻近效应修正软件几乎完全依赖进口的困境,作为从事光刻工艺研发近 20 年的资深研发人员,作 者肩负着协助光刻设备、材料和软件等产业链共同研发和发展的责任,将近 20 年的学习成果和研发经验汇编 成书,建立联系我国集成电路芯片的研发和制造,设备、材料和软件的研发,以及大专院校、科研院所的科学 技术研究、人才培养的一座桥梁。 本书以光刻工艺为主线,有机地将光刻设备、光刻材料、光刻成像的理论计算、光刻工艺中各种建模思想 和推导、芯片制造的技术发展要求以及对光刻工艺各项参数的要求紧密地联系在一起,给读者一个整体的图 景。《衍射极限附近的光刻工艺》可供光刻技术领域科研院所的研究人员、大专院校的教师和学生、集成电路工厂的工程技术人员等 参考。
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